九七年，英特尔和花旗国能源部牵头，成立了的EUVLLC联盟，希望能研发出EUV(极紫外线)光刻机，重拾半导体制霸权
这个联盟有花旗国能源部，及其下属三大国家实验室，还有英特尔和摩托罗拉、AMD、IBM等科技公司
花旗国人还需要挑选一个光刻机公司加入联盟，尼糠和AMSL都是不错的备选
花旗国人显然不可能选用，崛起中的岛国企业，给自己制造麻烦
于是，较为弱势的阿斯慢成功入伙
作为回报，阿斯慢将替花旗国，把光刻机龙头的桂冠，从尼糠头上摘下
阿斯慢用了两场战役，彻底将尼糠踩在脚下
第一个关键的技术节点是，阿斯慢与台急电工程师宁本坚合作，用后者推崇的“浸润式光刻技术”，突破固有的制程限制
宁本坚曾前往岛国宣传该技术，但尼糠等厂商并没有接受他的方案
当时市面上的光刻机都是干式的，没有谁用液体做光刻机
二零零四年，阿斯慢和台急电合作一年后，推出了第一台浸润式光刻机样机，波长能达到132nm，率先攻克芯片制程卡顿，并一举拿下IBM和台急电等大客户的订单
尼糠虽然很快也推出了干式微影光刻机产品，但其光源只能做到157纳米，显然阿斯慢更胜一筹
到二零零七年，阿斯慢的光刻机市场份额已达到百分之六十，首次超过尼糠
而真正让阿斯慢封神的，还是独门的EUV（极紫外线）光刻机
这项技术的突破，离不开强大的盟友们
EUV联盟的几百位科学家，发表了大量论文研究EUV技术
身处其中的阿斯慢，能最先了解EUV最新研发成果，也拥有花旗国最领先的半导体技术、材料学、光学以及精密制造，等技术的优先使用权
作为交换，花旗国政府拥有对阿斯慢生产的监管权限这也是为何今天花旗国会对阿斯慢有巨大话语权的原因之一
EUV联盟在二零零三年，认为理论工作已经完成，便在当年解散
所有的技术成果，都由阿斯慢所掌握，但直到二零一五年，阿斯慢才将EUV光刻机做到量产
中间，因为花旗国顶级光源企业Cymer，一直搞不定EUV所需光源的研发，阿斯慢就在二零一二年将该公司收购了，投入重金全力研发EUV所需的光源
资金不足时，阿斯慢就从客户手里掏钱
二零一二年，阿斯麦提出“客户联合投资计划”，拿出百分之二十五的股份，邀请主要客户做联合投资，股东将拥有优先订货权
英特尔、三星、台急电三家公司凑了五十二亿多欧元，支持EUV光刻机的研发，分别拿下了百分之十五，百分之五，百分之三的股份
光刻机最难的是光源、晶圆曝光台、对准系统和镜头
国产光刻机涉及